A nagyenergiájú femtoszekundumos lézersugárral bevonatolásra alkalmas anyagok párologtatása különböző anyagok felületére, így vékonyrétegek kialakításával speciális tulajdonságokat érhetünk el. Femtoszekundomos impulzusokkal jól szabályozható az elpárolgó anyagmennyiség. Hiperszublimáláskor a nagyenergiájú impulzussal kezelt anyag felületén lézersugár elnyelődésekor az anyagréteg azonnal plazmaállapotba lép és elszublimál. Ezzel a módszerrel különböző anyagok felületét lehet tisztítani vagy strukturálni különböző mintázatokkal, mellyel a felületi technológiák területén érhető el áttörés. A nagyenergiájú rövid impulzusú lézersugár alkalmas mikro megmunkálásra, mint például furatok, csatornák készítése. Ez a megmunkálás alkalmas különleges anyagon is, mint a kerámiák, ilyen módszerrel irányított geometriájú furatok és rések készíthetőek, potenciális alkalmazási terület például kerámia szűrők készítése.